產(chǎn)品用途：
用作金屬層間的通孔(Vias)和垂直接觸的接觸孔(Contact)的填充物，即鎢塞(W Plug)。
Application:
It is used as a filler for through holes (Vias) between metal layers and vertical contact holes (contact), i.e. tungsten plug.
產(chǎn)品性能參數(shù)/Product Property Parameters：
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化學(xué)成分
Chemical Compositions
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主含量，（%，不小于）
Main Content, %, min
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W
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99.99
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99.999
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雜質(zhì)含量
（質(zhì)量分數(shù)），
（%，不大于）
Impurity Content (mass fraction), %, max
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Al
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0.0001
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0.0001
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B
|
-
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0.00001
|
|
Bi
|
0.0001
|
0.00001
|
|
Ca
|
0.0005
|
0.00005
|
|
Co
|
0.0001
|
0.00005
|
|
Cr
|
0.0002
|
0.0001
|
|
Cu
|
0.0002
|
0.0001
|
|
F
|
-
|
0.00001
|
|
Fe
|
0.0010
|
0.0001
|
|
K
|
0.0001
|
0.00001
|
|
Li
|
-
|
0.00005
|
|
Mg
|
0.0001
|
-
|
|
Mn
|
0.00005
|
0.00005
|
|
Mo
|
0.0010
|
-
|
|
Na
|
0.0002
|
0.00001
|
|
Ni
|
0.0002
|
0.0001
|
|
Pb
|
0.0003
|
0.00001
|
|
Si
|
0.0010
|
0.00005
|
|
Sn
|
0.0001
|
0.0001
|
|
Th
|
-
|
0.00000005
|
|
Ti
|
0.00005
|
0.00005
|
|
U
|
-
|
0.00000005
|
|
Zr
|
0.00005
|
-
|
|
Zn
|
0.0001
|
0.00005
|
|
C
|
0.0050
|
0.0050
|
|
O
|
0.0100
|
0.0100
|
|
S
|
0.0010
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≤0.0010
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注：鎢含量為100%減去表中所列雜質(zhì)元素實測含量的總和（不包含氣體元素）；需方如有特殊要求時，由供需雙方協(xié)商確定，并在合同或訂貨單中注明。
Note: Molybdenum content is the sum of 100% minus the measured content of impurity elements listed in the table (excluding gas elements). Special requirements will be agreed upon by the supplier and buyer, and indicated in the contract or purchase order.
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其他性能Others:
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相對密度
Relative Density
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平均晶粒尺寸
Average Grain Size
(μm)
|
粗糙度
Roughness
(Ra, μm)
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平面度
Flatness
（mm）
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≥99%
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≤100
|
≤0.8
|
≤1%
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尺寸Size:
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形狀
Shape
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厚度
Thickness（mm）
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寬度
Width（mm）
|
長度
Length（mm）
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直徑
Diameter（mm）
|
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圓形Round
|
3-25
|
-
|
-
|
≤450
|
|
方形Square
|
3-25
|
≤600
|
≤2000
|
-
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注：如有特殊要求，雙方具體商定。
Note: Special requirements will be agreed upon by the supplier and buyer.
